田中貴金属工業は1月23日、半導体の製造工程などで使用される真空成膜装置部材の防着板に、ニッケルめっき加工を施すことでPGM(プラチナ、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウム、オスミウム)スパッタ膜を容易に剥離することができる治具洗浄法「TANAKA Green Shield」を確立したことを発表した。 田中貴金属工業は、1885年の創業以来継続して貴金属リサイクル事業を行ってきており、半導 …
田中貴金属工業は1月23日、半導体の製造工程などで使用される真空成膜装置部材の防着板に、ニッケルめっき加工を施すことでPGM(プラチナ、パラジウム、ロジウム、ルテニウム、イリジウム、オスミウム)スパッタ膜を容易に剥離することができる治具洗浄法「TANAKA Green Shield」を確立したことを発表した。 田中貴金属工業は、1885年の創業以来継続して貴金属リサイクル事業を行ってきており、半導 …