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オリエンタルモーターは、同社の5相ステッピングモータ−用ドライバ「CVDシリーズ」として初となるフルクローズド制御タイプを追加、5月20日より発売を開始したことを発表した。 同社では、同製品の主なターゲットを微細プロセス向け半導体製造装置としており、同社 商品企画部 商品企画課 新井勇輝氏は、「半導体・電子デバイスの技術進化に伴うプロセスの微細化ニーズが高まりを見せており、位置決めに関わるモーター …