オーク製作所は2024年1月24〜26日、「第1回 パワーデバイス&モジュール EXPO」(2024年1月24〜26日/東京ビッグサイト)に出展し、φ10μm以下のビアを形成可能なエキシマレーザー加工装置「Exa-Ms5」などを紹介した。 Exa-Ms5は、「既存の加工装置では困難なφ10μm以下の小型ビアを、既存装置の倍の精度で形成できる」(担当者)という。最小φ3μmのビアまで形成可能で、総合 …
オーク製作所は2024年1月24〜26日、「第1回 パワーデバイス&モジュール EXPO」(2024年1月24〜26日/東京ビッグサイト)に出展し、φ10μm以下のビアを形成可能なエキシマレーザー加工装置「Exa-Ms5」などを紹介した。 Exa-Ms5は、「既存の加工装置では困難なφ10μm以下の小型ビアを、既存装置の倍の精度で形成できる」(担当者)という。最小φ3μmのビアまで形成可能で、総合 …