三井化学は2024年5月28日、半導体のさらなる微細化や生産性向上に役立つEUV露光用カーボンナノチューブ(CNT)ペリクルの生産設備を岩国大竹工場(山口県和木町)に設置することを決定したと発表した。 岩国大竹工場で新設するEUV露光用CNTペリクルの生産設備は、年間5000枚の同製品を生産できる。完成は2025年12月を予定している。 三井化学のペリクル事業について 半導体ウェハーに光を照射して …
三井化学は2024年5月28日、半導体のさらなる微細化や生産性向上に役立つEUV露光用カーボンナノチューブ(CNT)ペリクルの生産設備を岩国大竹工場(山口県和木町)に設置することを決定したと発表した。 岩国大竹工場で新設するEUV露光用CNTペリクルの生産設備は、年間5000枚の同製品を生産できる。完成は2025年12月を予定している。 三井化学のペリクル事業について 半導体ウェハーに光を照射して …