日本航空電子工業は半導体製造装置など向けのサーボ加速度計を試作した。同社従来製品が持つ低ノイズといった性能を保ちつつ、製品の高さを1―2割抑えたことで、空間の有効活用に貢献する。半導体製造装置の振動を正確に把握したいメーカーの需要を取り込むとともに、フラットパネルディスプレー(FPD)製造装置や地震観測での活用も見込む。2024年度内をめどに発売を目指し、価格は個別見積もりを想定する。 試作品は従 …
日本航空電子工業は半導体製造装置など向けのサーボ加速度計を試作した。同社従来製品が持つ低ノイズといった性能を保ちつつ、製品の高さを1―2割抑えたことで、空間の有効活用に貢献する。半導体製造装置の振動を正確に把握したいメーカーの需要を取り込むとともに、フラットパネルディスプレー(FPD)製造装置や地震観測での活用も見込む。2024年度内をめどに発売を目指し、価格は個別見積もりを想定する。 試作品は従 …