宇都宮大学(宇大)、東京大学(東大)、九州大学(九大)、広島大学の4者は7月26日、先端半導体向けの「極端紫外(EUV)リソグラフィ」の光源を高効率化するためのマルチレーザービーム照射法を提案し、EUV光源を高効率化できることを実験的に実証したと共同で発表した。 同成果は、宇大学術院 工学部 基盤工学科の東口武史教授、同・森田大樹助教、宇大 地域創生科学研究科の杉浦使大学院生、同・矢澤隼斗大学院生 …
宇都宮大学(宇大)、東京大学(東大)、九州大学(九大)、広島大学の4者は7月26日、先端半導体向けの「極端紫外(EUV)リソグラフィ」の光源を高効率化するためのマルチレーザービーム照射法を提案し、EUV光源を高効率化できることを実験的に実証したと共同で発表した。 同成果は、宇大学術院 工学部 基盤工学科の東口武史教授、同・森田大樹助教、宇大 地域創生科学研究科の杉浦使大学院生、同・矢澤隼斗大学院生 …