半導体生産の歩留まり向上に欠かせないウェハ欠陥検査装置 日立ハイテクは、半導体生産ラインにおいてパターン付ウェハ表面上の異物や欠陥を検査する暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI4600」を発売したことを発表した。 暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI4600」の外観 (出所:日立ハイテク) パターン付ウェハ検査装置は、半導体生産ラインにおいて加工中のウェハ上の異物や欠陥を検査することで、半導体製造装置の状 …
半導体生産の歩留まり向上に欠かせないウェハ欠陥検査装置 日立ハイテクは、半導体生産ラインにおいてパターン付ウェハ表面上の異物や欠陥を検査する暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI4600」を発売したことを発表した。 暗視野式ウェハ欠陥検査装置「DI4600」の外観 (出所:日立ハイテク) パターン付ウェハ検査装置は、半導体生産ラインにおいて加工中のウェハ上の異物や欠陥を検査することで、半導体製造装置の状 …