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米国カリフォルニア州に本社を構えるラムリサーチの日本法人は2024年8月22日、神奈川県内で記者会見を開き、極低温絶膜エッチング技術の第3世代である「Lam Cryo(ラムクライオ) 3.0」を開発したと発表した。この技術は、メモリセルを平面だけではなく垂直にも配列した3次元構造のNAND型フラッシュメモリ「3D NAND」のエッチングで役立ち、3D NANDの量産でも既に採用されている。 ラムリ …