高精度電子線計測システム「GT2000」の開発背景 日立ハイテクは、EUVリソグラフィを活用して製造される半導体デバイスの開発ならびに量産における計測ニーズに対応することを可能とした高精度電子線計測システム「GT2000」を発売したことを発表した。 高精度電子線計測システム「GT2000」の外観(出所:日立ハイテク) 半導体製造プロセスの微細化は未だに進化を続けており、2nmプロセス世代や14〓プ …
高精度電子線計測システム「GT2000」の開発背景 日立ハイテクは、EUVリソグラフィを活用して製造される半導体デバイスの開発ならびに量産における計測ニーズに対応することを可能とした高精度電子線計測システム「GT2000」を発売したことを発表した。 高精度電子線計測システム「GT2000」の外観(出所:日立ハイテク) 半導体製造プロセスの微細化は未だに進化を続けており、2nmプロセス世代や14〓プ …