中Huaweiと同社がひそかに出資も行うなど協業関係にある中国の半導体製造装置メーカーである深〓市新凱来技術(英語名:SiCarrier)は、EUV露光装置ではなくDUV露光装置を用いた自己整合4重パターニング(SAQP)を行うことで、プロセス数は増加するもののEUVリソグラフィ並みの微細パターン形成を可能にする特許を2023年後半に取得していたと米国メディアが報じている。 それによると、米国政府 …
中Huaweiと同社がひそかに出資も行うなど協業関係にある中国の半導体製造装置メーカーである深〓市新凱来技術(英語名:SiCarrier)は、EUV露光装置ではなくDUV露光装置を用いた自己整合4重パターニング(SAQP)を行うことで、プロセス数は増加するもののEUVリソグラフィ並みの微細パターン形成を可能にする特許を2023年後半に取得していたと米国メディアが報じている。 それによると、米国政府 …