三菱ケミカルグループは2024年6月12日、福岡県北九州市の三菱ケミカル九州事業所福岡地区に、ArF(フッ化アルゴン)フォトレジスト用リソマックスとEUV(極端紫外線)フォトレジスト用リソマックスの量産設備を新設すると発表した。 半導体フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」 出所:三菱ケミカルグループ リソマックスは、半導体の回路パターンをウエハーに転写するフォトリソグラフィー工程で用いら …
三菱ケミカルグループは2024年6月12日、福岡県北九州市の三菱ケミカル九州事業所福岡地区に、ArF(フッ化アルゴン)フォトレジスト用リソマックスとEUV(極端紫外線)フォトレジスト用リソマックスの量産設備を新設すると発表した。 半導体フォトレジスト用感光性ポリマー「リソマックス」 出所:三菱ケミカルグループ リソマックスは、半導体の回路パターンをウエハーに転写するフォトリソグラフィー工程で用いら …