日立ハイテクは2023年12月6日、半導体生産ライン向け日立暗視野式ウエハー欠陥検査装置「DI4600」を発売すると発表した。検出精度とスループットの向上により、高度化する半導体の製造プロセスおよび検査に対する要求に応える。 日立暗視野式ウエハー欠陥検査装置「DI4600」を発表 出所:日立ハイテク 同装置は、専用サーバの追加により、光や信号などのデータ処理能力が大幅に向上し、パターン付きウエハー …
日立ハイテクは2023年12月6日、半導体生産ライン向け日立暗視野式ウエハー欠陥検査装置「DI4600」を発売すると発表した。検出精度とスループットの向上により、高度化する半導体の製造プロセスおよび検査に対する要求に応える。 日立暗視野式ウエハー欠陥検査装置「DI4600」を発表 出所:日立ハイテク 同装置は、専用サーバの追加により、光や信号などのデータ処理能力が大幅に向上し、パターン付きウエハー …