レーザー光によりナノメートルスケールで微細加工する技術を開発 (MONOist)

東北大学は2024年3月12日、レーザー光によりナノメートル(nm)スケールで微細加工する技術を開発したと発表した。材料と空気の界面における光の全反射により、材料の裏面に微小な集光点を形成する技術だ。 同技術では、微小な集光特性を持つベクトルビームと呼ばれる特殊なレーザー光を用いる。既存の技術では、材料の界面での屈折や反射により、ベクトルビームの集光特性を活用できないことが課題だった。研究グループ …