ノベルクリスタルテクノロジーが6インチβ型酸化ガリウム単結晶の作製に成功 (MONOist)

ノベルクリスタルテクノロジーは2023年12月25日、垂直ブリッジマン(VB)法で6インチβ型酸化ガリウム(β-Ga2O3)単結晶の作製に世界で初めて成功したと発表した。今後は、VB法による高品質単結晶育成技術の開発を継続するとともに、VB法の特徴である成長面方位の柔軟性を生かした基板開発に取り組む。 開発の背景と概要 近年、シリコン(Si)製のパワーデバイスの性能を超える材料として炭化ケイ素(S …