大口径化に向けて、信州大学が発案した育成技術を継承 ノベルクリスタルテクノロジーは2023年12月、垂直ブリッジマン(VB)法を用い、直径6インチのβ型酸化ガリウム(β-Ga2O3)単結晶を作製することに成功したと発表した。単結晶基板の大口径化と高品質化により、β-Ga2O3パワーデバイスのコストダウンが可能となる。 パワーデバイス向け材料として、SiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)が注目 …
大口径化に向けて、信州大学が発案した育成技術を継承 ノベルクリスタルテクノロジーは2023年12月、垂直ブリッジマン(VB)法を用い、直径6インチのβ型酸化ガリウム(β-Ga2O3)単結晶を作製することに成功したと発表した。単結晶基板の大口径化と高品質化により、β-Ga2O3パワーデバイスのコストダウンが可能となる。 パワーデバイス向け材料として、SiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)が注目 …