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ファスフォードテクノロジ(山梨県南アルプス市、富士原秀人社長)は、パワー半導体分野に参入する。電気自動車(EV)を中心に炭化ケイ素(SiC)パワー半導体が採用され始めているのを背景に、耐熱性が高いSiCに対応した技術を開発し、パワー半導体向けシンタリング(燃焼)装置の市場投入を目指す。 SiCパワー半導体はシリコンパワー半導体と比べ、より高温の環境で使う。そのため従来のハンダによるダイボンディング …