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キヤノンの半導体露光装置事業がかつての勢いを取り戻している。フッ化アルゴン(ArF)液浸露光装置や極端紫外線(EUV)露光装置を事業化できず、オランダASMLやニコンとの開発競争に敗れた同社。ところがここにきて、生成AI(人工知能)を支える先端パッケージング向けの市場を総取りしている。ナノインプリントリソグラフィー(NIL)装置を発売し、微細化の最先端にも返り咲く。フルラインアップで王者ASML. …