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堀場製作所は1月23日、一酸化炭素・二酸化硫黄・オゾン・窒素酸化物・炭化水素の濃度を、ナノレベルで高精度に連続測定する微量ガス分析計「AP-380シリーズ」を発売すると発表した。 堀場製作所の微量ガス分析計「AP-380シリーズ」 (出所:堀場製作所) 同シリーズは、大気の環境モニタリングに加え、半導体・センサ・電子部品などの製造エリアにおける分子状汚染物質の監視や、ガス製造プロセス中の不純物の監 …