膜厚1nmのナノシート単層膜や200層の多層厚膜が作製可能 名古屋大学未来材料・システム研究所の長田実教授らの研究グループは2024年7月、酸化物や酸化グラフェン、窒化ホウ素といった2次元物質(ナノシート)を高速かつ大面積に成膜する方法(自発集積転写法)を開発したと発表した。操作は簡便で水面へのインク滴下と基板転写のみで成膜が完了する。専門的な知識や技術は必要なく、わずか1分程度で、ウエハーサイズ …
膜厚1nmのナノシート単層膜や200層の多層厚膜が作製可能 名古屋大学未来材料・システム研究所の長田実教授らの研究グループは2024年7月、酸化物や酸化グラフェン、窒化ホウ素といった2次元物質(ナノシート)を高速かつ大面積に成膜する方法(自発集積転写法)を開発したと発表した。操作は簡便で水面へのインク滴下と基板転写のみで成膜が完了する。専門的な知識や技術は必要なく、わずか1分程度で、ウエハーサイズ …