共和製作所は2024年4月30日、炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の加工精度や導電性を高め、粉じん対策対策を施す技術を開発したと発表した。同技術を活用し、半導体製造装置用CFRP部品の受注拡大を図る。 半導体製造装置用の部品には、強度や耐熱性、寸法安定性などが求められる。炭素繊維と樹脂からなるCFRPは、軽くて強度があり、低熱膨張率や振動減衰性に優れる。一方で、導電性が低く加工が困難で、加工時 …
共和製作所は2024年4月30日、炭素繊維強化プラスチック(CFRP)の加工精度や導電性を高め、粉じん対策対策を施す技術を開発したと発表した。同技術を活用し、半導体製造装置用CFRP部品の受注拡大を図る。 半導体製造装置用の部品には、強度や耐熱性、寸法安定性などが求められる。炭素繊維と樹脂からなるCFRPは、軽くて強度があり、低熱膨張率や振動減衰性に優れる。一方で、導電性が低く加工が困難で、加工時 …