富士フイルムは2024年4月30日、電子材料事業の中核会社である富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズを通じ、半導体材料「ナノインプリントレジスト」を同年5月下旬より販売すると発表した。 同製品は、半導体製造技術「ナノインプリントリソグラフィ」に最適な分子構造を持つレジストだ。製造工程におけるレジストの流動挙動や、レジスト、ウエハー表面、マスクそれぞれとの相互作用を詳細に解析して開発した。 ハン …
富士フイルムは2024年4月30日、電子材料事業の中核会社である富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズを通じ、半導体材料「ナノインプリントレジスト」を同年5月下旬より販売すると発表した。 同製品は、半導体製造技術「ナノインプリントリソグラフィ」に最適な分子構造を持つレジストだ。製造工程におけるレジストの流動挙動や、レジスト、ウエハー表面、マスクそれぞれとの相互作用を詳細に解析して開発した。 ハン …