堀場製作所は18日、半導体製造工程の異物検出・除去を1台で行える検査装置を発売したと発表した。レティクルやマスクといった回路を描いた原版へのホコリなどの異物付着を検知する従来機に、異物の除去機能を搭載。マスクなどの自動搬送にも対応し、生産効率や歩留まりを高められる。消費税抜きの価格は1億5000万円から。従来機も合わせ5年間で150台の販売を目指す。 新製品「PD Xpadion(エクスパディオン …
堀場製作所は18日、半導体製造工程の異物検出・除去を1台で行える検査装置を発売したと発表した。レティクルやマスクといった回路を描いた原版へのホコリなどの異物付着を検知する従来機に、異物の除去機能を搭載。マスクなどの自動搬送にも対応し、生産効率や歩留まりを高められる。消費税抜きの価格は1億5000万円から。従来機も合わせ5年間で150台の販売を目指す。 新製品「PD Xpadion(エクスパディオン …