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「EE Times Japan」に掲載した主要な記事を、読みやすいPDF形式の電子ブックレットに再編集した「エンジニア電子ブックレット」。今回は、ASMLが開発する「高NA(開口数) EUV露光装置」に関して、その技術への期待や初号機がIntelに設置されるまでの過程、さらに今後計画されている、NAが0.75の「Hyper-NA」EUV露光装置を含むロードマップなどを伝えた記事をまとめました。 高 …