JX金属は6月18日、需要が拡大する次世代半導体向けCVDならびにALD材料の本格供給に向けて、同社日立事業所白銀地区および東邦チタニウムの茅ヶ崎工場敷地内への生産設備および開発設備投資を決定したことを発表した。 半導体の高性能化ニーズは留まるところを知らず、その実現としてさらなる微細化や多層化が求められている。同社ではこれまで半導体製造におけるPVDプロセス向けスパッタリングターゲットを手掛けて …
JX金属は6月18日、需要が拡大する次世代半導体向けCVDならびにALD材料の本格供給に向けて、同社日立事業所白銀地区および東邦チタニウムの茅ヶ崎工場敷地内への生産設備および開発設備投資を決定したことを発表した。 半導体の高性能化ニーズは留まるところを知らず、その実現としてさらなる微細化や多層化が求められている。同社ではこれまで半導体製造におけるPVDプロセス向けスパッタリングターゲットを手掛けて …