堀場製作所は3月18日、半導体製造の露光工程において必要な異物検査装置として同社が展開する「PD」シリーズの新製品として、異物の検出から除去までを1台で完結する「PD Xpadion EX」を同日より発売することを発表した。 堀場製作所の新製品「PD Xpadion EX」(出所:堀場製作所) 40年の節目を迎えるPDシリーズの新製品が発売 半導体の回路を焼き付ける露光工程では、レティクルやマスク …
堀場製作所は3月18日、半導体製造の露光工程において必要な異物検査装置として同社が展開する「PD」シリーズの新製品として、異物の検出から除去までを1台で完結する「PD Xpadion EX」を同日より発売することを発表した。 堀場製作所の新製品「PD Xpadion EX」(出所:堀場製作所) 40年の節目を迎えるPDシリーズの新製品が発売 半導体の回路を焼き付ける露光工程では、レティクルやマスク …