電気特性インライン計測 日立ハイテクは生成人工知能(AI)サーバーに使うロジックなど最先端半導体を対象に、電気特性などを製造プロセスの早い段階でインライン計測できる装置の開発に乗り出す。最先端半導体は今後、3次元(3D)構造や裏面電源供給技術の導入で構造が立体化・複雑化し、歩留まりの低下リスクが高まる見通し。早期に計測できる技術を実現し、歩留まり低下の原因を迅速に特定できるよう貢献する。 ※自社作 …
電気特性インライン計測 日立ハイテクは生成人工知能(AI)サーバーに使うロジックなど最先端半導体を対象に、電気特性などを製造プロセスの早い段階でインライン計測できる装置の開発に乗り出す。最先端半導体は今後、3次元(3D)構造や裏面電源供給技術の導入で構造が立体化・複雑化し、歩留まりの低下リスクが高まる見通し。早期に計測できる技術を実現し、歩留まり低下の原因を迅速に特定できるよう貢献する。 ※自社作 …