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ロジック半導体の量産化に協力 大阪大学の森勇介教授(名古屋大学教授を兼務)は30年前に「CLBO結晶」を開発した。同結晶は紫外レーザーの波長変換素子として、今や次世代半導体の製造に用いる極端紫外線(EUV)露光の前工程と後工程に必須の素材だ。「産業の“川上”に位置する結晶」(森教授)となっている。 CLBOはセシウム、リチウム、ホウ素、酸素による化合物の結晶。これに通すと世界最高出力の紫外レーザー …