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キヤノンは半導体の高密度化を実現する「先端パッケージ」の需要増を受け、後工程向けにi線露光装置を増産する。2025年度に後工程向けi線露光装置の生産台数を最大80台規模と24年度比で倍増する。IT大手などが生成人工知能(AI)サーバーへの投資を増やす中、台湾積体電路製造(TSMC)などは高密度実装が必要なAI半導体の製造能力を増強している。同装置で先行するキヤノンは、AI半導体の後工程における旺盛 …