日立ハイテクは2023年12月12日、高精度電子線計測システム「GT2000」を発売した。 GT2000は、High-NA EUVリソグラフィー工程向けに、同社独自の高速スキャン機能と、CD-SEM(測長SEM)としては初の超低加速電圧100V条件を組み合わせた。これにより、ダメージを抑えつつ高精度な計測ができる。 高精度電子線計測システム「GT2000」 出所:日立ハイテク 超高速多点計測モード …
日立ハイテクは2023年12月12日、高精度電子線計測システム「GT2000」を発売した。 GT2000は、High-NA EUVリソグラフィー工程向けに、同社独自の高速スキャン機能と、CD-SEM(測長SEM)としては初の超低加速電圧100V条件を組み合わせた。これにより、ダメージを抑えつつ高精度な計測ができる。 高精度電子線計測システム「GT2000」 出所:日立ハイテク 超高速多点計測モード …