Mipoxは炭化ケイ素(SiC)8インチウエハーのエッジ部とノッチ部を連続で面取り加工できる研磨装置を開発した。研磨フィルムを使った独自工法で従来の砥石(といし)による研削から生産性を大幅に高め、SiCウエハーの8インチ化に貢献する。価格は標準仕様で約7500万円(消費税抜き)。初年度10台の受注を見込む。 SiCの加工に耐える専用研磨フィルムを開発した。1巻きでウエハー300枚を連続加工する。エ …
Mipoxは炭化ケイ素(SiC)8インチウエハーのエッジ部とノッチ部を連続で面取り加工できる研磨装置を開発した。研磨フィルムを使った独自工法で従来の砥石(といし)による研削から生産性を大幅に高め、SiCウエハーの8インチ化に貢献する。価格は標準仕様で約7500万円(消費税抜き)。初年度10台の受注を見込む。 SiCの加工に耐える専用研磨フィルムを開発した。1巻きでウエハー300枚を連続加工する。エ …