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TSMCの魏哲家(C.C.Wei)CEO兼社長(当時、現会長)をはじめとする複数の経営幹部やリソグラフィ担当技術者らが5月下旬、オランダにあるASMLの本社およびimec-ASML High-NA Labを訪問していたことをASMLのChristophe Fouquet CEOがLinledinに投稿する形で明らかになった。TSMCは高NA EUV露光装置について価格的な面で先送りを示唆していたが …