堀場エステックは2024年5月21日、独自の赤外ガス分析技術「IRLAM(アーラム)」を搭載したレーザーガス分析計「LG-100」を発売した。 レーザーガス分析計「LG-100」 出所:堀場エステック LG-100は、2021年に独自に開発した赤外ガス分析技術のIRLAMを搭載し、ppbレベルの微量なガスを高感度かつ0.1秒の高速で測定できる。半導体製造におけるエッチングプロセスから発生するSiF …
堀場エステックは2024年5月21日、独自の赤外ガス分析技術「IRLAM(アーラム)」を搭載したレーザーガス分析計「LG-100」を発売した。 レーザーガス分析計「LG-100」 出所:堀場エステック LG-100は、2021年に独自に開発した赤外ガス分析技術のIRLAMを搭載し、ppbレベルの微量なガスを高感度かつ0.1秒の高速で測定できる。半導体製造におけるエッチングプロセスから発生するSiF …