ニデックインスツルメンツは2023年12月11日、真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ液晶基板搬送ロボット「SR8670」「SR8665」を発表した。 真空内で動くロボットは、空気やダストなどが内部から排出されないように各関節をシーリングしており、これが関節の動きの自由度を下げる原因となっている。 SR8670とSR8665には、減速機と一体化した磁気シールを採用しているため、使用するシーリ …
ニデックインスツルメンツは2023年12月11日、真空環境でも大気中と同等の関節自由度を持つ液晶基板搬送ロボット「SR8670」「SR8665」を発表した。 真空内で動くロボットは、空気やダストなどが内部から排出されないように各関節をシーリングしており、これが関節の動きの自由度を下げる原因となっている。 SR8670とSR8665には、減速機と一体化した磁気シールを採用しているため、使用するシーリ …