東京エレクトロンは2024年7月8日、枚葉成膜装置のラインアップを拡充し、「Episode 1」「Episode 2 DMR」「Episode 2 QMR」を発表した。半導体デバイスの微細化に伴う複雑な成膜プロセスに対応し、高い生産性と環境性能を提供する。 Episode 1は、最大8プロセスモジュールを搭載可能なプラットフォームで、複数プロセスを連続処理できる。シリコンの自然酸化膜除去モジュール …
東京エレクトロンは2024年7月8日、枚葉成膜装置のラインアップを拡充し、「Episode 1」「Episode 2 DMR」「Episode 2 QMR」を発表した。半導体デバイスの微細化に伴う複雑な成膜プロセスに対応し、高い生産性と環境性能を提供する。 Episode 1は、最大8プロセスモジュールを搭載可能なプラットフォームで、複数プロセスを連続処理できる。シリコンの自然酸化膜除去モジュール …