堀場製作所は2024年3月18日、レティクルおよびマスクの異物検査装置「PD Xpadion EX」を発売した。 同装置は、異物検査装置「PD Xpadion」をベースに、自動異物除去装置「RP-1」の機能を搭載する。これにより、半導体製造の露光工程における異物の検出と除去が1台で完結する。 異物の検出と除去が連続的にできるように、レティクル、マスクの格納ケースを2式同時にセット可能なマルチポート …
堀場製作所は2024年3月18日、レティクルおよびマスクの異物検査装置「PD Xpadion EX」を発売した。 同装置は、異物検査装置「PD Xpadion」をベースに、自動異物除去装置「RP-1」の機能を搭載する。これにより、半導体製造の露光工程における異物の検出と除去が1台で完結する。 異物の検出と除去が連続的にできるように、レティクル、マスクの格納ケースを2式同時にセット可能なマルチポート …