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イーディーピーは2024年3月22日、窒素含有量を低減した(111)面の単結晶基板を製品化したと発表した。量子デバイス開発向けに、同年4月1日より販売を開始する。 新(111)基板の製品と既存の(111)基板の製品[クリックで拡大] 出所:イーディーピー 新基板の厚さは0.2〜0.5mmで、一方の辺が3mm以下のものを作製できる。表面仕上げは通常研磨を施し、Raは5nm未満。窒素含有量は0.5pp …