ノベルクリスタルテクノロジー(埼玉県狭山市、倉又朗人社長)は、パワー半導体の基板となる150ミリメートル口径(6インチ)β型酸化ガリウム(β―Ga2O3)単結晶の作製に成功した。基板の大口径化や高品質化の実現に貢献し、パワー半導体へのβ―Ga2O3の採用を加速させる。単結晶は、るつぼと同じ形の結晶が得られる垂直ブリッジマン(VB)法で作製。従来の方法であるEFG法よりも基板に加工する際に不要となる …
ノベルクリスタルテクノロジー(埼玉県狭山市、倉又朗人社長)は、パワー半導体の基板となる150ミリメートル口径(6インチ)β型酸化ガリウム(β―Ga2O3)単結晶の作製に成功した。基板の大口径化や高品質化の実現に貢献し、パワー半導体へのβ―Ga2O3の採用を加速させる。単結晶は、るつぼと同じ形の結晶が得られる垂直ブリッジマン(VB)法で作製。従来の方法であるEFG法よりも基板に加工する際に不要となる …