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東京工業大学は2024年3月14日、次世代の太陽電池として期待されているシリコンヘテロ接合(SHJ)太陽電池用の水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)を、既存手法で用いる強い爆発性/毒性を持つSiH4(モノシラン)ガスを使用せずに、実用的な製膜速度でシリコンウエハー上に形成することに成功したと発表した。 SHJ太陽電池は、理論効率である29%に迫る26.8%の発電効率を示すなど、次世代の高性能 …