東京エレクトロンは2024年7月8日、極微細パターニング工程向けガスクラスタビーム(GCB)装置「Acrevia」の販売開始を発表した。難度が高まる最先端のパターニングにおいて、さらなる微細化と生産性の向上に貢献する。 極微細パターニング工程向けGCB装置「Acrevia」 出所:東京エレクトロン Acreviaは、極微細のパターニング工程において、EUV露光の後に続くエッチング処理後のパターンに …
東京エレクトロンは2024年7月8日、極微細パターニング工程向けガスクラスタビーム(GCB)装置「Acrevia」の販売開始を発表した。難度が高まる最先端のパターニングにおいて、さらなる微細化と生産性の向上に貢献する。 極微細パターニング工程向けGCB装置「Acrevia」 出所:東京エレクトロン Acreviaは、極微細のパターニング工程において、EUV露光の後に続くエッチング処理後のパターンに …