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東北大学の戸田雅也准教授らは、ダイヤモンド量子センサーでシリコン製微小電気機械システム(MEMS)の応力を検出することに成功した。シリコン製の片持ち梁(はり)構造にナノメートルサイズ(ナノは10億分の1)のダイヤモンド結晶を固定する。片持ち梁が振動して発生する応力を光学的に検出できた。量子センサーとMEMSの融合技術になる。 MEMSの表面にナノダイヤの微粒子を噴霧し、その上に二酸化ケイ素を成膜す …