ラピダス社長の小池淳義氏は全枚葉式への強いこだわりがある(写真:日経クロステック) ラピダスが「どこよりも速い」半導体製造を実現する道筋を少しずつ明らかにしている。軸となるのは「全枚葉式」。すべての工程においてシリコンウエハーを1枚ずつ処理する枚葉式で、製造装置を統一する手法だ。果たして、この手法の採用は妙手なのだろうか。大手製造装置メーカーのトップに聞いてみた。 最初に全枚葉式についてまとめてお …
ラピダス社長の小池淳義氏は全枚葉式への強いこだわりがある(写真:日経クロステック) ラピダスが「どこよりも速い」半導体製造を実現する道筋を少しずつ明らかにしている。軸となるのは「全枚葉式」。すべての工程においてシリコンウエハーを1枚ずつ処理する枚葉式で、製造装置を統一する手法だ。果たして、この手法の採用は妙手なのだろうか。大手製造装置メーカーのトップに聞いてみた。 最初に全枚葉式についてまとめてお …