前川製作所は2024年1月16日、伸和コントロールズと共同開発した、自然冷媒で−70℃/9kWの冷却能力を持つ半導体製造プロセスエッチング用チラー「Oberon(オベロン)」を発表した。フィールドテスト実施後、2025年以降の販売を目指す。 半導体製造プロセスエッチング用チラー「Oberon」 出所:前川製作所 同製品は、前川製作所の自然冷媒冷却技術(ターボブレイトン冷凍機)を応用し、半導体のエッ …
前川製作所は2024年1月16日、伸和コントロールズと共同開発した、自然冷媒で−70℃/9kWの冷却能力を持つ半導体製造プロセスエッチング用チラー「Oberon(オベロン)」を発表した。フィールドテスト実施後、2025年以降の販売を目指す。 半導体製造プロセスエッチング用チラー「Oberon」 出所:前川製作所 同製品は、前川製作所の自然冷媒冷却技術(ターボブレイトン冷凍機)を応用し、半導体のエッ …