高品質の厚膜300mm GaNエピタキシャル成長が可能に 信越化学工業は2024年9月、GaN専用の成長基板であるQST基板について、300mm化を実現し、サンプル出荷を始めた。大口径基板を用いることでGaNデバイスの製造コストを抑えることが可能となる。 QST基板は、米国Qromisが開発したGaN成長専用の複合材料基板で、信越化学は2019年にライセンスを取得した。これまでに、直径が150mm …
高品質の厚膜300mm GaNエピタキシャル成長が可能に 信越化学工業は2024年9月、GaN専用の成長基板であるQST基板について、300mm化を実現し、サンプル出荷を始めた。大口径基板を用いることでGaNデバイスの製造コストを抑えることが可能となる。 QST基板は、米国Qromisが開発したGaN成長専用の複合材料基板で、信越化学は2019年にライセンスを取得した。これまでに、直径が150mm …