東京工業大学の宮島晋介准教授と李莎莎大学院生は、高性能なシリコン太陽電池を安全に製造する手法を開発した。結晶シリコンの表面に強い爆発性と毒性を持つ原料ガス(SiH4ガス)を使わずに、高速かつ低ダメージでキャリア再結合抑制効果の高い薄膜を形成する。シリコンヘテロ接合太陽電池の低コスト化につながる。 対抗ターゲットスパッタ装置の概略 宮島准教授らは、シリコンヘテロ接合太陽電池向けの水素化アモルファスシ …
東京工業大学の宮島晋介准教授と李莎莎大学院生は、高性能なシリコン太陽電池を安全に製造する手法を開発した。結晶シリコンの表面に強い爆発性と毒性を持つ原料ガス(SiH4ガス)を使わずに、高速かつ低ダメージでキャリア再結合抑制効果の高い薄膜を形成する。シリコンヘテロ接合太陽電池の低コスト化につながる。 対抗ターゲットスパッタ装置の概略 宮島准教授らは、シリコンヘテロ接合太陽電池向けの水素化アモルファスシ …