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Lam Research(以下、Lam)は2024年7月、第3世代となる極低温絶縁膜エッチング技術「Lam Cryo(クライオ) 3.0」を発表した。これに伴い、日本法人のラムリサーチは同年8月22日、記者説明会を開催し、同技術の詳細を説明した。Lamのエッチングチャンバー「Vantex」に適用することで、3D(3次元) NAND型フラッシュメモリのメモリホールを高速かつ高精度に加工できるようにな …