1ビーム当たりのエネルギーを下げ、複数ビームを照射 宇都宮大学と東京大学、九州大学、理化学研究所、米国パデュー大学、アイルランド国立大学ダブリン校および、広島大学の共同研究グループは2024年7月、EUV(極端紫外)露光装置の核となるEUV光源を高効率化するためのマルチレーザービーム照射法を提案、実験によりその効果を実証したと発表した。EUV変換効率は2ビーム照射で4.7%となり、1ビーム照射に比 …
1ビーム当たりのエネルギーを下げ、複数ビームを照射 宇都宮大学と東京大学、九州大学、理化学研究所、米国パデュー大学、アイルランド国立大学ダブリン校および、広島大学の共同研究グループは2024年7月、EUV(極端紫外)露光装置の核となるEUV光源を高効率化するためのマルチレーザービーム照射法を提案、実験によりその効果を実証したと発表した。EUV変換効率は2ビーム照射で4.7%となり、1ビーム照射に比 …