九州大学(九大)が、EUV光照射と解析評価サービスを提供する事業会社「EUVフォトン」を、2024年4月1日付で九大100%子会社として設立した「九大OIP」を通じて7月29日付で設立した。 EUVは最先端のロジック半導体やDRAMの製造に用いられているが、現在、そうしたEUV光を用いた研究開発は海外の試験研究機関に頼っており、輸出規制による試料輸送の長期化や照射にかかるコスト、海外へのノウハウ流 …
九州大学(九大)が、EUV光照射と解析評価サービスを提供する事業会社「EUVフォトン」を、2024年4月1日付で九大100%子会社として設立した「九大OIP」を通じて7月29日付で設立した。 EUVは最先端のロジック半導体やDRAMの製造に用いられているが、現在、そうしたEUV光を用いた研究開発は海外の試験研究機関に頼っており、輸出規制による試料輸送の長期化や照射にかかるコスト、海外へのノウハウ流 …