従来に比べ、極めて高いシリコンプロセス触媒性能を発現 京都大学エエネルギー理工学研究所の坂口浩司教授らによる研究チームは2024年7月、新たに開発した炭素細線製造法を用い、「酸素ドープ型グラフェンナノリボン(GNR)」を合成することに成功したと発表した。開発した新材料は、シリコン加工にこれまで用いられてきた貴金属触媒を超えるシリコンプロセス触媒性能が得られるという。 シリコンダイを積層する3次元集 …
従来に比べ、極めて高いシリコンプロセス触媒性能を発現 京都大学エエネルギー理工学研究所の坂口浩司教授らによる研究チームは2024年7月、新たに開発した炭素細線製造法を用い、「酸素ドープ型グラフェンナノリボン(GNR)」を合成することに成功したと発表した。開発した新材料は、シリコン加工にこれまで用いられてきた貴金属触媒を超えるシリコンプロセス触媒性能が得られるという。 シリコンダイを積層する3次元集 …